3月17-19日，慕尼黑上海光博會(huì)在上海新國際博覽中心舉辦。上海復(fù)享光學(xué)股份有限公司攜高性能光譜模組和光芯片檢測(cè)系統(tǒng)等亮相光博會(huì)，致力于為用戶提供全面而智能的深度光譜解決方案。

復(fù)享光學(xué)現(xiàn)場展位照片

21世紀(jì)是智能化時(shí)代，從集成電芯片，到集成光芯片，再到生物芯片，各類芯片應(yīng)運(yùn)而生。微納制造作為芯片的基礎(chǔ)，是保障整個(gè)產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵。在光刻、刻蝕、檢測(cè)等微納制造過程中，有超過一半的工藝都與光學(xué)技術(shù)相關(guān)，而其中光譜又具有核心的作用。

通俗來說，光譜就是解析光的技術(shù)。光可以攜帶芯片內(nèi)部的大量信息，在微納制造的過程中，通過動(dòng)態(tài)適時(shí)地解析光，就可以精確地控制芯片制造的過程，并剔除不良品。傳統(tǒng)的光譜技術(shù)為物質(zhì)成分識(shí)別而生，重點(diǎn)是解析頻率維度的信息。而復(fù)享光學(xué)自創(chuàng)立之始，就以微納為核心關(guān)注領(lǐng)域，全面發(fā)展包括頻率、動(dòng)量、偏振、相位等在內(nèi)的多維度光譜技術(shù)，進(jìn)而結(jié)合神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)算法，形成了全面而智能的深度光譜解決方案。

光譜檢測(cè)設(shè)備

此次光博會(huì)，復(fù)享光學(xué)參展的產(chǎn)品在集成電路設(shè)備中具有廣泛應(yīng)用。無論在膜厚、形貌，還是在刻蝕EP測(cè)量過程中，都可以見到光譜設(shè)備的身影。復(fù)享光學(xué)是國內(nèi)目前僅有的能同時(shí)滿足以上應(yīng)用的光譜廠商。

衍射光波導(dǎo)檢測(cè)設(shè)備

衍射光波導(dǎo)是增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)AR產(chǎn)品中最重要的器件，在其制備過程中控制光波導(dǎo)表面的形貌成為提高良率的關(guān)鍵。復(fù)享光學(xué)提供的光芯片檢測(cè)系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)光波導(dǎo)表面形貌關(guān)鍵參數(shù)的檢測(cè)，為AR器件量產(chǎn)提供了有力保障。

目前，公司已累計(jì)生產(chǎn)超過10,000臺(tái)設(shè)備，客戶廣泛覆蓋高校院所及眾多半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)頭部企業(yè)。

談及本次參會(huì)目的，復(fù)享光學(xué)CEO殷海瑋博士表示：“在今天的芯片之中，‘如何利用光’既是要解決的問題，也是答案本身：無論是制造具有更小納米結(jié)構(gòu)的集成電路，還是設(shè)計(jì)基于微納光子結(jié)構(gòu)的集成光芯片，光子學(xué)都成為了技術(shù)的關(guān)鍵。從光子學(xué)出發(fā)，再結(jié)合擅長大自由度參數(shù)處理的神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)算法，復(fù)享將光譜這一應(yīng)用超過百年的傳統(tǒng)光學(xué)技術(shù)，發(fā)展為具有頻率、動(dòng)量、位置、偏振和相位等更多維度的深度光譜技術(shù)。基于此，復(fù)享光學(xué)補(bǔ)上了中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在光檢測(cè)上的重要一環(huán)。借此次光博會(huì)契機(jī)，我們希望加強(qiáng)與同行的交流與合作，共同促進(jìn)中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展?！?/p>